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壓力傳感器的設計難點有哪些?


東莞市南力測控設備有限公司推出新產品:壓力開關壓力變送器壓力傳感器稱重傳感器液位傳感器如有意向購買者請致電:0769-88119598

  隨著電子電路器件的發展,將來壓力傳感器抗高溫性能會變得更好,這需要廣大科技工作者共同努力。
 
  壓力傳感器是目前應用最為廣泛的一種傳感器,傳統的壓力傳感器以機械結構型的器件為主,利用壓電效應,把彈性體的形變轉換成對應壓力的大小。隨著半導體技術和MEMS技術的發展,壓力傳感器性能得到大幅提高,不僅體積小、質量輕、功耗小,而且精度、穩定性、可靠性更高,這也大大擴展了它的應用市場。

  高溫壓力傳感器主要是為了解決高溫環境下各種氣體、液體壓力的測量,廣泛應用于鍋爐、管道、高溫反應容器內的壓力、井下壓力和各種發動機腔體內的壓力、高溫油品液位與檢測、油井測壓等領域壓力的測量。

  現在,研究比較多的高溫壓力傳感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半導體傳感器,還有濺射合金薄膜高溫壓力傳感器、高溫光纖壓力傳感器和高溫電容式壓力傳感器等,與傳統的壓阻式壓力傳感器相比,半導體電容式壓力傳感器具有靈敏度高、溫度穩定性好、功耗小等優點,而且它只對壓力敏感,對應力不敏感,所以,電容式壓力傳感器在許多領域得到廣泛應用。

  硅電容式壓力傳感器的感應元件是半導體薄膜,壓力傳感器主要由單晶硅和多晶硅制作而成,典型的電容式傳感器結構由上下電極、絕緣體和襯底所組成。當薄膜受壓力作用時,它會發生形變,這就導致上下電極之間的距離緊跟著發生變化,從而使電容發生變化,但電容的變化與上下電極之間的距離呈非線性關系。

  所以,要用補償電路對其進行補償,由于高溫條件對補償電路的影響很大,所以應當避免補償電路在高溫環境下工作,最好的解決辦法就是把傳感器件與放大電路分離,通過模型識別來得到所測環境的壓力。

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